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■装置概要 本装置は、カラーフィルター上の突起欠陥の修正を行います。
本機の持つ突起高さ計測システムにより、許容高さまで突起をポイント研磨修正を行います。検査装置を接続して自動化も可能です。
その場合は、突起データに基づき、突起確認を行い、突起の形状を認識し、研磨中心位置を補正し、確実に突起修正を行います。リトライ機能を付加する事も可能です。
■特長 1) 突起の高さを計測し、テープラップ後に高さを計測
2) 特殊研磨パッドを替えることにより、研磨面積をコントロール可能
3) 押し圧コントロール可能で、パネルにダメージを与えません。
■主な用途 ・カラーフィルター突起修正 |